一种原子力显微镜探针光热激发探测装置

摘要

本发明公开了一种原子力显微镜探针光热激发探测装置，包括：集成装置外壳、固定于所述集成装置外壳内的激发激光器、探测激光器及四象限探测器，且所述集成装置外壳上固接有夹持件，所述夹持件上固接有探针；所述激发激光器倾斜固定于集成装置外壳内，所述探测激光器水平设置于集成装置外壳内，且所述激发激光器与探测激光器呈锐角设置；集成装置外壳靠近夹持件位置上设置有物镜，所述物镜在竖直方向位于四象限探测器的下方。根据本发明，实现高效的振动激发，激发与探测一体化的装置，简化了激光光斑调节、探针位置调节的流程。