公开/公告号CN113468689A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-01
原文格式PDF
申请/专利号CN202110771535.9
申请日2021-07-08
分类号G06F30/17(20200101);G06F30/23(20200101);G06F30/27(20200101);G06K9/62(20060101);G06F111/08(20200101);G06F119/08(20200101);G06F119/14(20200101);
代理机构12103 天津市宗欣专利商标代理有限公司;
代理人董光仁
地址 300134 天津市北辰区光荣道409号
入库时间 2023-06-19 12:46:51
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-06-23
授权
发明专利权授予
机译: 切削条件的优化方法和切削装置的工具更换时序的确定方法
机译: 抗蚀剂图案形成工艺优化装置,抗蚀剂图案形成工艺优化方法和抗蚀剂图案形成工艺优化程序
机译: 机床切削条件的优化方法和装置