公开/公告号CN113126142A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-07-16
原文格式PDF
申请/专利权人 应急管理部国家自然灾害防治研究院;
申请/专利号CN202110411873.1
发明设计人 楚伟;
申请日2021-04-16
分类号G01T7/00(20060101);
代理机构11303 北京方韬法业专利代理事务所(普通合伙);
代理人党小林
地址 100000 北京市海淀区安宁庄路7号院
入库时间 2023-06-19 11:52:33
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-01
授权
发明专利权授予
机译: 检测带电粒子的仪器;具有高能粒子探测器,该探测器使用负偏压外壳将低能粒子偏转到低能粒子探测器
机译: 高能粒子注射系统及高能粒子注射控制方法
机译: 带电粒子束光学系统像差的评估方法,带电粒子束器件的调整方法,带电粒子束曝光方法,散光性和评估图案的评估方法