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公开/公告号CN112926192A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-06-08
原文格式PDF
申请/专利权人 长春理工大学;
申请/专利号CN202110122658.X
发明设计人 史浩东;李英超;张艺蓝;王超;刘壮;张肃;战俊彤;付强;姜会林;
申请日2021-01-29
分类号G06F30/20(20200101);G06F17/16(20060101);G02B27/00(20060101);
代理机构11633 北京中理通专利代理事务所(普通合伙);
代理人刘慧宇
地址 130022 吉林省长春市朝阳区卫星路7186号
入库时间 2023-06-19 11:19:16
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-05-06
授权
发明专利权授予
机译: 光刻设备的光学系统,具有像差校正单元,该像差校正单元的折光力高于反射镜的折光力,并且支撑单元沿与系统的光轴平行的轴延伸
机译: 光学系统自由曲面镜中公差分布的分析方法
机译: 一种具有光学自由曲面的光束整形器,以及一种具有这种光束整形器的激光光学系统。
机译:成像偏振仪中光学系统的偏振像差
机译:轴外光学系统的近轴和像差分析
机译:离轴光学系统的近轴和像差分析
机译:防反射涂层近轴光学系统的偏振像差可忽略不计
机译:平面对称光学系统中的色差校正和偏振像差分析的自适应分散公式
机译:偏振光场显微镜:一种使用微透镜阵列同时捕获双折射物体的圆锥和正像视图的分析方法
机译:离轴光学系统像差分析研究
机译:具有环形光学系统的光学系统的像差点扩散函数和光束质量