一种降低HVPE外延膜中Si含量的镓舟结构

摘要

本发明公开了一种降低HVPE外延膜中Si含量的镓舟结构。该结构为多层结构，外层为石英管，左端密封在HVPE的法兰上，起到支撑的作用；中层为两个热解氮化硼管，分别为第一热解氮化硼管和第二热解氮化硼管，防止腐蚀性气体Cl2和石英管接触，内层是热解氮化硼坩埚，用于盛放液态的金属镓；第一热解氮化硼管套在石英管中；第二热解氮化硼管套在第一热解氮化硼管中；热解氮化硼坩埚放置在第二热解氮化硼管内。采用本发明后，可以有效的防止腐蚀性气体Cl2和石英管接触，防止石英管被腐蚀，避免β‑Ga2O3外延膜中掺入Si杂质，降低外延膜的载流子浓度，提升外延膜的纯度。