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用于单晶炉的坩埚组件和单晶炉

摘要

本发明公开了一种用于单晶炉的坩埚组件和单晶炉,包括第一坩埚、第二坩埚和第三坩埚,第一坩埚内限定出盛放空间,第二坩埚设在盛放空间内且与第一坩埚共同限定出第一腔室,第三坩埚设在第二坩埚内且与第二坩埚共同限定出第二腔室,第三坩埚内限定出第三腔室。其中,第二坩埚上形成有第一连通孔以连通第一腔室和第二腔室,第三坩埚上形成有第二连通孔以连通第二腔室和第三腔室,第一连通孔的孔径为d1,第二连通孔的孔径为d2,d1、d2满足:d1<d2,第一腔室适于构造成下料区,第三腔室适于构造成晶体生长区。根据本发明的用于单晶炉的坩埚组件,有利于提升熔汤的均匀性,避免出现杂质击中,且保证熔汤流动顺畅,实现生产稳定。

著录项

  • 公开/公告号CN112210822A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-01-12

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 徐州鑫晶半导体科技有限公司;

    申请/专利号CN202010948849.7

  • 发明设计人 黄末;陈翼;刘奇;刘林艳;高海棠;

    申请日2020-09-10

  • 分类号C30B15/10(20060101);

  • 代理机构11201 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人肖阳

  • 地址 221004 江苏省徐州市经济技术开发区鑫芯路1号

  • 入库时间 2023-06-19 09:32:16

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-05-12

    专利申请权的转移 IPC(主分类):C30B15/10 专利申请号:2020109488497 登记生效日:20230428 变更事项:申请人 变更前权利人:中环领先(徐州)半导体材料有限公司 变更后权利人:中环领先(徐州)半导体材料有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:221004 江苏省徐州市经济技术开发区鑫芯路1号 变更后权利人:221004 江苏省徐州市经济技术开发区鑫芯路1号 变更事项:申请人 变更前权利人: 变更后权利人:中环领先半导体材料有限公司

    专利申请权、专利权的转移

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