一种双相结构复合薄膜及其制备方法和应用

摘要

本发明提供了一种双相结构复合薄膜及其制备方法和应用，属于固体润滑技术领域。本发明提供的双相结构复合薄膜，按原子数量比计，组成上包括Mo 16.9～25.5％，S 23.4～28.0％，Ti 15.0～18.9％和B 31.4～40.7％；结构上包括非晶基质和镶嵌在所述非晶基质中的硬质相，所述硬质相为TiB2晶粒，所述非晶基质为MoSx，x＝1.09～1.40。实施例的结果显示，本发明提供的复合薄膜在大气环境中同时实现了超低摩擦和超低磨损，显著优于现有技术中硫化钼基润滑薄膜在大气环境中的摩擦学性能和耐磨损能力。