一种气体团簇离子束流在真空中形成薄膜的方法

摘要

气体团簇离子束流在真空中形成薄膜的方法，在减压环境中提供所述衬底；由加压气体混合物产生所述至少一个气体团簇离子束GCIB；选择离子团簇加速电位和剂量以达到所述小于5nm的厚度；根据所述离子团簇剂量，将所述加速的至少一个GCIB照射到所述衬底的所述至少一部分上；在所述衬底的所述至少一部分上形成所述超薄薄膜以达到所述厚度；所述超薄薄膜的厚度小于5nm；(a)通过将所述衬底中的至少一种原子成分与所述至少一种GCIB中的至少一种成膜原子成分混合，任选地在所述衬底的表面部分中生长混合子层，(b)沉积一种或多种成膜原子在所述基底的所述表面部分上来自所述至少一个GCIB的组分形成沉积层。