微振动信号敏感元件、微振动信号检测机构及其应用

摘要

本发明揭示了一种微振动信号敏感元件，包括：基底层，其上开设有裂纹，所述裂纹沿所述基底层厚度方向贯穿该基底层，所述裂纹具有一封闭的尖端部；压电薄膜，设于所述裂纹尖端部一侧的基底层上，用于将裂纹产生的振动信号转化为电信号；输出电极，连接所述压电薄膜，用于输出所述电信号。本发明还提供了一种微振动信号检测机构以及磨床对刀精准检测装置。本发明对砂轮和工件接触瞬间产生的振动信号进行采集处理，可根据磨床加工环境调节对刀精度，该磨床对刀精准检测装置结构简单、对刀过程高效、成本低，提高了精密/超精密磨床中工件加工的表面质量和精度。