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图案形成方法、加工基板的生产方法、光学部件的生产方法、电路板的生产方法、电子部件的生产方法和压印模具的生产方法

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摘要

将包含聚合性化合物组分(a1)的固化性组合物(A1)的层配置在基板的表面上。将至少包含聚合性化合物组分(a2)的固化性组合物(A2)的液滴离散地滴落在固化性组合物(A1)的层上。将固化性组合物(A1)和固化性组合物(A2)的混合层夹持在基板与具有图案的模具之间。该混合层通过用光照射而固化。将模具与固化后的混合层脱离，并且图案形成于基板上。除了溶剂以外的固化性组合物(A1)的各组分的组合物对于模具的表面的接触角不超过10°。

著录项

公开/公告号CN109075032A

专利类型发明专利
公开/公告日2018-12-21

原文格式PDF
申请/专利权人佳能株式会社;
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申请/专利号CN201780022094.4
发明设计人伊藤俊树;
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申请日2017-03-29
分类号
代理机构北京魏启学律师事务所;
代理人魏启学
地址日本东京都大田区下丸子3丁目30番2号
入库时间 2023-06-19 07:51:04

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-01-15

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/027 申请日:20170329

实质审查的生效
2018-12-21

公开

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