公开/公告号CN107709604A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-02-16
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201580080549.9
申请日2015-06-17
分类号
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 04:34:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-03-23
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/24 申请日:20150617
实质审查的生效
2018-02-16
公开
公开
机译: 沉积速率的测量方法及沉积速率控制系统
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