电子元器件的电气特性测定方法以及电气特性测定装置

摘要

本发明提供一种具备高测定精度的电子元器件的电气特性测定方法。其包括：预先生成使测定端子和外部电极抵接时的荷重的大小、与电气特性的测定误差量之间的关系式的步骤；使测定端子和电子元器件的外部电极抵接，并利用测定器检测流过电子元器件的电信号，来测定电子元器件的电气特性并得到测定电气特性，同时利用荷重传感器测定该抵接时的荷重的大小并得到荷重值的步骤；以及基于关系式，根据荷重值的大小，来对测定电气特性进行校正的步骤。