公开/公告号CN107179074A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-09-19
原文格式PDF
申请/专利权人 意法半导体股份有限公司;
申请/专利号CN201610877204.2
申请日2016-09-30
分类号
代理机构北京市金杜律师事务所;
代理人王茂华
地址 意大利阿格拉布里安扎
入库时间 2023-06-19 03:21:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-10-20
实质审查的生效 IPC(主分类):G01C19/5656 申请日:20160930
实质审查的生效
2017-09-19
公开
公开
机译: 用于MEMS传感器装置的微机械检测结构,特别是MEMS陀螺仪,具有改进的驱动特征
机译: 用于具有改进的驱动特征的用于MEMS传感器设备,尤其是MEMS陀螺仪的微机械检测结构
机译: 具有改进的驱动功能的MEMS传感器设备(尤其是MEMS陀螺仪)的微机械检测结构