法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-06-05
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C14/32 申请公布日:20160203 申请日:20140714
发明专利申请公布后的视为撤回
2016-03-02
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/32 申请日:20140714
实质审查的生效
2016-02-03
公开
公开
机译: 用于磁增强阴极等离子体沉积的等离子体源
机译: 阴极电弧等离子体沉积系统中用于电弧离子蒸发器的过滤装置
机译: 阴极电弧等离子体沉积系统中用于电弧离子蒸发器的过滤装置