公开/公告号CN104777331A
专利类型发明专利
公开/公告日2015-07-15
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN201510179862.X
申请日2015-04-16
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人任岩
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2023-12-18 09:52:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-03-29
授权
授权
2015-08-12
实质审查的生效 IPC(主分类):G01Q60/18 申请日:20150416
实质审查的生效
2015-07-15
公开
公开
技术领域
本发明涉及显微镜成像系统技术领域,特别是指一种基于石英音叉的 扫描近场光学显微镜成像系统
背景技术
纳米技术已成为当今世界科技发展的重要技术之一,对人类探索未知 领域具有重大的推动作用。原子力显微镜及扫描电子显微镜等高分辨率仪 器已成为纳米技术领域研究的重要工具。但原子力显微镜只能测量样品的 形貌特征,对样品所包含的成分信息却无能为力,扫描电子显微镜虽然具 有分辨率高,使用方便,成像时间短等优点,但其具有和原子力显微镜相 同的弱点。
众所周知,根据瑞利判据,光学成像系统的分辨率R≥0.61λ/NA,其 中λ为光波的波长,NA=n sinθ为光学成像系统的数值孔径。在传统光 学成像系统中,提高分辨率的方法有以下几种:①使用更短的光波长;② 增大光学系统的数值孔径。但这两种办法只能在有限的范围内提高系统的 分辨率。随着人们研究的深入,出现了一种能突破光学衍射极限的显微镜 一近场光学显微镜,它的出现解决了长期困扰人们的光学显微镜分辨率问 题。近场光学显微镜探测的是局域在被测样品表面的隐逝场,它不受传统 光学衍射极限的限制,因此能探测到传统光学显微镜所不能探测的信息。 目前,近场光学显微镜所采用的控制技术基本都是基于石英音叉探针的, 以石英音叉代替了原子力显微镜的微悬臂梁。但是,这种近场光学显微镜 系统也存在其不足之处。一般的近场光学显微镜使用一种石英音叉探针, 它是将针尖大小为100nm的光纤探针用环氧树脂胶粘在石英音叉的一个自 由振动臂上,然后通过驱动石英音叉在其共振频率处振动,从而带动光纤 探针在样品表面振动,从而得到所需要的样品信息。但是由于光纤探针是 粘贴在音叉的一个振动臂上,这种外加的质量使石英音叉的有效质量及弹 性常数发生变化,从而使音叉的品质因数剧烈减小,而品质因数直接影响 了探针的灵敏度,因此,传统近场光学显微镜的灵敏度很低。而且,将一 个尖端大小是100nm的光纤探针粘贴在石英音叉的一个振动臂上,这需要 很精细的机械结构去调节安装,否则得到的带音叉的光纤探针极有可能不 合格,也浪费了经过多种工艺得到的锥形光纤探针,增加了系统的成本, 限制了它的广泛应用。
发明内容
本发明的目的在于提出一种基于石英音叉的扫描近场光学显微镜成 像系统,以提高现有的近场光学显微镜的灵敏度。
为了达到上述目的,本发明提出了一种基于石英音叉的扫描近场光学 显微镜成像系统,该系统包括:
一石英音叉;
一压电陶瓷扫描台,所述石英音叉用圆头螺丝固定在压电陶瓷扫描台 上:
一锁相放大器,其端口1、端口2通过PCB板与石英音叉的两端相连;
一光电倍增管,其输入端通过一滤光片组与收集光纤探针相连;
一激光器,其输出端与一激发光纤探针相连;
一控制箱,其端口与光电倍增管的输出端相连,其端口与锁相放大器 的端口3相连,其端口3与压电陶瓷扫描台相连;
一电脑,其输入端与控制箱的端口4相连。
本发明的有益效果是:
1、本发明提出的一种基于石英音叉的扫描近场光学显微镜成像系统, 采用将待测样品置于石英音叉上,通过检测探针逼近样品时流过石英音叉 电流的变化来控制探针与样品的距离,该系统具有体积小,结构简单,成 本低等特点。
2、本发明提出的一种基于石英音叉的扫描近场光学显微镜成像系统, 采用将光纤探针与石英音叉分立开的方法,提高了系统的品质因数,增强 了系统的灵敏度。
附图说明
为了进一步说明本发明的内容及特点,结合以下附图及实施方式做详 细的描述,其中:
图1是本发明设计的一种基于石英音叉的扫描近场光学显微镜成像系 统的结构示意图。
图2是图1中扫描器部分的放大顶视图。
具体实施方式
如图1及图2所示,本发明提出的一种基于石英音叉的扫描近场光学 显微镜成像系统,该系统包括:
一石英音叉1,其中石英音叉1为去掉金属外壳的圆柱形封装、振动 频率为32.768kHz的石英晶振,有两个振动臂,为U字型;
一压电陶瓷扫描台2,所述石英音叉1用圆头螺丝3固定在压电陶瓷 扫描台2上,其中压电陶瓷扫描台2为高精度三维压电陶瓷扫描台;
一锁相放大器4,其是双相数字锁相放大器,端口1、端口2通过PCB 板10(图2中)与石英音叉1的两端相连,端口1输出32.768kHz的正弦信 号加在石英音叉1的一端,使石英音叉1在其固有频率处振荡,端口2检 测流过石英音叉1的电流,并将其转换成电压信号从端口3输出;
一光电倍增管5,其输入端通过一滤光片组9与收集光纤探针12相连; 所述光电倍增管5的一侧有一窗口;所述滤光片组9固定于光电倍增管5 的窗口上,该滤光片组9包括第一滤光片和第二滤光片,第一滤光片的通 光波长为500-800nm,第二滤光片的通光波长为300-680nm;滤光片组9 的传输效率应大于90%、光密度值大于5,根据所用激光器6波长的不同, 滤光片组9的通光波长也应不同;
其中石英音叉1的两引脚焊接在PCB板10上,圆头螺丝3将PCB板 10固定在压电陶瓷扫描台2上,石英音叉1的一个振动臂上放置待测样品, 石英音叉1作为力的传感器,用于探测收集光纤探针12与样品之间的距 离,同时石英音叉1作为载样台,用于承载样品进行扫描成像;其所述收 集光纤探针12是一个采用腐蚀法制得的锥形光纤探针;所述收集光纤探 针12的通光波长是4001000nm,通光效率大于10-5,其尖端尺寸小于 100nm;
一激光器6,其输出端与一激发光纤探针11相连,其中激光器6是波 长为473nm,输出功率小于10mW的半导体激光器;
一控制箱7,其端口1与光电倍增管5的输出端相连,其端口2与锁 相放大器4的输出端相连,其端口3与压电陶瓷扫描台2相连;
一电脑8,其输入端与控制箱7的端口4相连,通过软件控制所述锁 相放大器4及控制箱7;
系统工作时,将样品置于石英音叉1的一个振动臂上,当收集光纤探 针12慢慢逼近样品时,锁相放大器4探测石英音叉1的电流变化,控制 箱7的端口3控制压电陶瓷扫描台2的Z轴,使石英音叉1的电流保持在 一个恒定值,驱动压电陶瓷扫描台2,使其带动石英音叉1及样品在X,Y 方向运动。一方面,根据压电陶瓷扫描台2在Z方向的位移得到待测样品 的形貌像。另一方面,激光器6激发待测样品,收集光纤探针12收集样 品的近场光学信息,经光电倍增管5将其转化成电信号送入控制7箱的端 口1,得到待测样品的近场光学像。
以上所述的具体实施例,对本发明的目的、技术方案和有益效果进行 了进一步详细说明,所应理解的是,以上所述仅为本发明的具体实施例而 已,并不用于限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所做的任何修 改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
机译: 基于光热效应的近场光学显微镜红外扫描方法及装置
机译: 基于光热效应的红外扫描近场光学显微镜的方法及装置
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