缺陷分类装置、缺陷分类方法、控制程序和记录介质

摘要

缺陷分类装置(1)具备：分类指标算出部(14)，其算出表示作为缺陷区域的一部分的外周区域中包含的像素的颜色和作为缺陷区域外的区域的与上述外周区域相邻的附近区域的像素的颜色之间的差异的特征量；以及缺陷分类部(15)，其基于算出的上述特征量将上述缺陷区域的缺陷分类为膜内异物或者膜上异物。