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一种在柔性基板上安装薄芯片的方法

摘要

本发明公开了一种在柔性基板上安装薄芯片的方法。该方法包括:将厚芯片的待减薄面朝外,安装于柔性基板上;在柔性基板上放置具有挖空部的掩模板,该挖空部对应柔性基板上厚芯片的位置,用来暴露厚芯片的待减薄面,同时遮挡住柔性基板上除芯片以外的其他区域;减薄厚芯片至所需厚度;移除掩模板,从而完成薄芯片在柔性基板上的安装。本发明在柔性基板上安装薄芯片的方法中,由于采用了先安装芯片后减薄的方法,从而实现薄芯片的简易拿持、安装和精确对准键和,成品率高。

著录项

  • 公开/公告号CN102593016A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2012-07-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;

    申请/专利号CN201210074113.7

  • 发明设计人 于大全;陶文君;张霞;张博;

    申请日2012-03-20

  • 分类号H01L21/58;H01L21/60;

  • 代理机构中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人宋焰琴

  • 地址 100083 北京市朝阳区北土城西路3号

  • 入库时间 2023-12-18 06:17:12

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-10-29

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/58 申请公布日:20120718 申请日:20120320

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2012-09-19

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/58 申请日:20120320

    实质审查的生效

  • 2012-07-18

    公开

    公开

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