公开/公告号CN102132387A
专利类型发明专利
公开/公告日2011-07-20
原文格式PDF
申请/专利权人 东京毅力科创株式会社;
申请/专利号CN200980132951.1
申请日2009-08-27
分类号H01L21/3065;C23C16/44;H01L21/205;H01L21/304;
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人李伟
地址 日本东京都
入库时间 2023-12-18 03:04:41
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-02-12
专利权的视为放弃 IPC(主分类):H01L21/3065 放弃生效日:20110720 申请日:20090827
专利权的视为放弃
2011-08-31
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/3065 申请日:20090827
实质审查的生效
2011-07-20
公开
公开
机译: 大气压力等离子体处理装置,大气压力等离子体处理方法以及用于大气压力等离子体处理装置的电极系统
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