用于金属和准金属、金属氧化物和准金属氧化物以及金属氮化物和准金属氮化物的表面处理的设备和方法

摘要

本发明涉及利用电等离子体的作用处理金属和准金属、金属氧化物和准金属氧化物以及金属氮化物和准金属氮化物表面的设备。本发明包括至少一个电极系统(1)，其由位于电介体(4)内部的电极(2)和(3)系统组成。优选在大气压下在它上产生扩散等离子体的电极系统(2)和(3)，与处理过的表面(5)处在同侧，并且通过施加在它们之间的交流或脉冲电压供电。本发明还涉及利用电等离子体的作用处理金属和准金属、金属氧化物和准金属氧化物以及金属氮化物和准金属氮化物表面的方法，包括利用通过本发明的设备产生的扩散等离子体优选在大气压下处理所述表面。另外，所述等离子体处理过的表面可以用含H