泵浦探针测量装置以及使用它的扫描探针显微镜装置

摘要

泵浦探针测量装置(1)具备：超短光脉冲激光产生部(11)，其产生成为泵浦光的第一超短光脉冲列以及成为探针光的第二超短光脉冲列；延迟时间调整部(15)，其调整超短光脉冲列的延迟时间；第一以及第二脉冲拾取器(13、14)，其分别入射第一以及第二超短光脉冲列，通过以任意的重复频率使一个脉冲透过来降低脉冲光的有效重复频率；延迟时间调制部(10)，其周期性地变更从第一以及第二脉冲拾取器(13、14)通过的脉冲的选择位置；照射光学系统(16)，其将泵浦光以及探针光照射到试样(19)上；测量部(20)，其对来自试样(19)的探针信号进行检测；以及锁定检测部(18)。