起伏检测装置、起伏检测方法、起伏检测装置的控制程序、记录介质

摘要

一种起伏检测装置，具有：照射部(线照明(2))，对被检物实施光照射；光强取得部(区域传感器(3))，取得来自上述被检物表面的光的光强分布；拍摄部(线传感器(4))，仅对来自上述被检物表面的光中的预定的光进行拍摄；调整部(图像处理部(20)和照明驱动控制部(21))，根据上述光强取得部取得的光强分布，对上述照射部(线照明(2))进行调整；以及判断部(缺陷判断处理部(23))，根据经上述调整后的拍摄部的拍摄结果，对被检物表面所形成的起伏状态进行判断。由此，即使是对于大型基板(滤色器基板等)，也可既简单又高精度地对其表面的起伏状态(膜厚差)进行检测。