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增强二氧化钛薄膜光吸收的图案化复合薄膜制备方法

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摘要

本发明公开了一种增强二氧化钛薄膜光吸收的图案化复合薄膜制备方法。本发明以Ti(SO

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2015-02-04

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 31/18 授权公告日:20121114 终止日期:20131218 申请日:20091218

专利权的终止
2012-11-14

授权

授权
2011-08-03

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20091218

实质审查的生效
2011-06-22

公开

公开

1. 增强二氧化钛薄膜光吸收的图案化复合薄膜制备方法 [P] . 中国专利： CN102104086B . 2012.11.14
2. 一种增强可见光光电响应的锰掺杂二氧化钛薄膜的制备方法 [P] . 中国专利： CN103280488A . 2013-09-04
3. RAW MATERIAL LIQUID FOR FORMING TITANIUM OXIDE FILM, AND METHOD FOR PRODUCING TITANIUM OXIDE FILM OBTAINED BY USING THE SAME [P] . 日本专利： JP2004197200A . 2004-07-15

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4. The method for preparing patterned protein nanoarrays with enhanced protein adsorption on a self-assembled block copolymer thin film and the patterned protein nanoarrays thereby [P] . 韩国专利： KR101018414B1 . 2011-02-28

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