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公开/公告号CN1681176A
专利类型发明专利
公开/公告日2005-10-12
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN200410032559.9
发明设计人 张洪波;韦欣;朱晓鹏;王国宏;马骁宇;
申请日2004-04-09
分类号H01S5/22;H01S5/30;
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人汤保平
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2023-12-17 16:33:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2007-09-19
发明专利申请公布后的视为撤回
2005-12-07
实质审查的生效
2005-10-12
公开
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