用于半导体激光器泵浦的固体激光器系统中的具有集成微透镜的VCSEL及VCSEL阵列

摘要

一种垂直腔表面发射激光器(VCSEL)设备，具有改进的功率及光束性能。VCSEL设备包括一个VCSEL或一个VCSELs阵列。每个VCSEL具有一个相应的集成微透镜，及一个在VCSEL设备旁边的热沉。该热沉可以改善散热性，并且因此能提供VCSEL设备输出激光束的改进的功率性能。该微透镜或微透镜阵列允许VCSEL设备输出激光束的更容易和更小型的聚焦。该VCSEL设备能被用于多种光学系统中，并且它的改进的功率及聚焦性能可以提供一个小型、低功率、低成本的激光器系统。