用于评定腐蚀性气体分配系统中压力调节器的运行状况的方法与系统

摘要

一种用于检测使用中的腐蚀性或活性气体分配系统中一压力调节器出现故障或失灵的方法，包括以下步骤，在有气流和没有气流时连续地检测或监视该压力调节器的输出压力。当有气流与没有气流之间的输出压力差波动较大并逐步增加时，预测该压力调节器的故障发作。当有气流与没有气流之间的输出压力差超过某经试验确定的值时，检测到压力调节器或整个系统失灵。