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保护性接合线控制结构

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在所描述实例中，接合线结构(420)沿空腔(195)的外围布置。所述接合线结构(420)从第一衬底(120)延伸，并且经配置以与布置在第二衬底(110)上的中介层(430)接合。扩散屏障(460)布置在所述第一衬底(120)上以用于接触所述中介层(430)。所述扩散屏障(460)经布置以阻止污染物从所述接合线结构(420)迁移并进入所述空腔(195)。

著录项

公开/公告号CN111344843A

专利类型发明专利
公开/公告日2020-06-26

原文格式PDF
申请/专利权人德州仪器公司;
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申请/专利号CN201880072397.1
发明设计人 G·S·西瓦库玛;C·A·麦凯;
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申请日2018-12-31
分类号H01L21/50(20060101);B81B7/02(20060101);
代理机构11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人林斯凯
地址美国德克萨斯州
入库时间 2023-12-17 10:24:54

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2020-06-26

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