用于离轴移动的MEMS传感器补偿

摘要

微机电系统(MEMS)传感器包括MEMS层，该MEMS层包括固定电极和可移动电极。响应于平面内线性加速度，可移动电极相对于固定电极移动，并且加速度基于所得的电容的变化来确定。多个辅助电极位于MEMS传感器的基板上并且在MEMS层下方，使得MEMS层和辅助负载之间的电容响应于MEMS层或其一部分的平面外移动而变化。MEMS传感器基于由辅助电极感测到的电容来补偿加速度值。