用于增大微机电系统活塞模式空间光调制器的效率和光带宽的方法和装置

摘要

在用于增大微机电系统活塞模式空间光调制器的效率和光带宽的方法和装置中，一种示例性装置(100)包括：具有弹簧腿的电极(106)；基电极(110)；反射镜位移确定器，其用于确定与超过电极(106)的不稳定点的电极(106)的位移距离相对应的周期信号；以及电压源，其用于响应于周期信号向基电极(110)输出周期电压。所述周期电压促使弹簧腿根据周期电压改变电极(106)相对于基电极(110)的位移。所述位移包括超过不稳定点的距离。