激光清洗辅助激光烧蚀制备多尺度微纳米复合结构的方法

摘要

一种激光清洗辅助激光烧蚀制备多尺度微纳米复合结构的方法，搭建光路，飞秒激光器输出光经过反射镜后进入扫描振镜，经过扫描振镜的圆透镜镜头聚焦后照射在载物台上，飞秒激光器、扫描振镜和电脑连接；设定激光烧蚀硅材料的参数，将单晶硅片样品固定在移动载物台上；电脑控制扫描振镜实现激光光斑交叉网格移动，激光烧蚀单晶硅片样品表面后得到覆盖有一层絮状氧化物沉积的网格状微米结构的表面；将扫描振镜的圆透镜镜头更换为柱面透镜镜头，得到椭圆形光斑；设定激光清洗硅氧化物沉积的参数，电脑控制扫描振镜实现激光光斑栅形移动，激光清洗网格状微米结构的表面，制备出多尺度微纳米复合结构；本发明操作简单，绿色环保，经济高效。