三维MEMS海洋湍流传感器

摘要

本发明公开了一种三维MEMS海洋湍流传感器，涉及传感器领域。该三维MEMS海洋湍流传感器包括传感单元，传感单元包括基底结构，基底结构上设有四个呈十字形排列的微悬臂梁，各个微悬臂梁朝向十字形中心的一端呈卷曲状，基底结构和微悬臂梁上包覆有弹性包覆体；每一微悬臂梁包括自下而上设置的Si薄膜层、SiN薄膜层和Cr薄膜层，微悬臂梁上设有压敏电阻，每一压敏电阻与三个恒定电阻构成惠斯通电桥，微悬臂梁的下端面通过SiO2层连接于基底结构上，基底结构呈长方体形，每一微悬臂梁的一端设置于基底结构的一条外侧边处，另一端伸向基底结构的中心，并向上卷曲。