多层衍射光学元件偏心误差分析方法

摘要

多层衍射光学元件偏心误差分析方法属于光学设计技术领域。在现有技术中还没有一种科学、可靠的偏心误差对衍射效率的影响的分析方法。本发明之多层衍射光学元件偏心误差分析方法包括以下四个步骤：1、根据多层衍射光学元件位相延迟表达式和衍射效率公式，求出连续面型或者台阶面型多层衍射光学元件的衍射效率；2、在整个工作波段内，根据多色光积分衍射效率理论，确定多色光积分平均衍射效率；3、在整个工作波段内，确定多色光积分衍射效率最大值，以及对应的工作波长，所述对应的工作波长即为设计波长，将设计波长代入微结构高度公式，确定各层衍射元件微结构高度值；4、根据波动光学模型，推导出含有偏心误差的多层衍射光学元件的衍射效率表达式。