燃料电池内部湿度-热流密度-电流密度联测传感器

摘要

本发明公开的燃料电池内部湿度-热流密度-电流密度联测传感器，属于燃料电池内部参数测量领域，其湿度-热流密度-电流密度联测传感器布置在燃料电池流场板的脊上，由十层薄膜构成，主要采用真空蒸发镀膜方法制作：首层为二氧化硅绝缘层，第二层为上电极铝镀层，第三层涂覆高分子聚合物感湿介质，第四层为下电极铝镀层，第五、六层为薄膜热流计铜镀层和镍镀层，第七层为二氧化硅保护层，第八层为二氧化硅厚热阻层，第九、十层为电流密度测量铜镀层和金镀层。本发明可实现对燃料电池内部湿度、热流密度和电流密度的同步测量，无需对燃料电池流场板等结构进行特殊改造，可布置于各种流道形状的燃料电池流场板上。