光学各向异性参数测定装置、测定方法以及测定用程序

摘要

即使是正常光折射率和异常光折射率的差是0.01以下这样的极其小的薄膜试样，仍精密地测定确定复折射率比的光学各向异性参数。在P方向上设置起偏振器、在S方向上设置检偏振器的正交偏光镜的状态下，使在测定点与检偏振器之间配置的波片旋转的同时，测定反射光的光强度(A11)，在P+δ方向上设置起偏振器、在S方向上设置检偏振器的不完全正交偏光镜的状态下，使波片旋转的同时，测定反射光的光强度(B11)，在P-δ方向上设置起偏振器、在S方向上设置检偏振器的不完全正交偏光镜的状态下，使波片旋转的同时，测定反射光的光强度(B12)，在S方向上设置起偏振器、在P方向上设置检偏振器的正交偏光镜的状态下，使波片旋转的同时，测定反射光的光强度(C11)，根据这些光强度，测定复反射率比的Ψpp、Ψps、Ψsp以及Δpp、Δps、Δsp。