法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-02-03
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01M11/02 申请公布日:20130821 申请日:20130515
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-09-18
实质审查的生效 IPC(主分类):G01M11/02 申请日:20130515
实质审查的生效
2013-08-21
公开
公开
机译: 具有理想波前发生器的测量装置,用于检测被测光学系统的点衍射干涉波前像差及其波前像差的检测方法
机译: 同时自校正子孔径拼接,用于表面图形测量(干涉仪)
机译: 同时进行自校正子孔径拼接以进行表面图形测量(干涉仪)