公开/公告号CN102939404A
专利类型发明专利
公开/公告日2013-02-20
原文格式PDF
申请/专利权人 日本磁性技术株式会社;
申请/专利号CN201180024693.2
申请日2011-04-20
分类号C23C14/32;H05H1/48;
代理机构北京信慧永光知识产权代理有限责任公司;
代理人李雪春
地址 日本东京都
入库时间 2024-02-19 16:54:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-01-07
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C14/32 申请公布日:20130220 申请日:20110420
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-03-27
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/32 申请日:20110420
实质审查的生效
2013-02-20
公开
公开
机译: 喷嘴,等离子体供应系统和用于等离子体供应系统的等离子体处理装置,等离子体发生方法和等离子体处理方法
机译: 用于等离子体处理装置的石英部件的处理方法,用于等离子体处理装置的石英部件,以及具有用于等离子体处理装置的石英部件的等离子体处理装置的安装方法
机译: 用于等离子体处理装置的石英部件的处理方法,用于等离子体处理装置的石英部件,以及具有用于等离子体处理装置的石英部件的等离子体处理装置的安装方法