真空室的真空度控制机构、包括该机构的接合装置、真空室及接合装置的真空度控制方法

摘要

本发明提供一种能以简易的结构提高真空压力控制精度的真空室的真空度控制机构、包括该真空室的真空度控制机构的接合装置、真空室的真空度控制方法、以及接合装置的真空度控制方法。用于控制真空室（D）的真空压力值的真空室的真空度控制机构包括：用于对真空室（D）抽真空的真空路径；将气体导入真空室（D）的流量调节阀（30）；以及对流量调节阀（30）的开闭率进行控制的控制部（32），控制部（32）根据真空室（D）的真空压力值对流量调节阀（30）的开闭率进行控制，将真空室（D）的真空压力值调整为目标真空压力值。