用于定向自组装的嵌段共聚物和使用其的定向自组装方法

摘要

本申请涉及一种用于定向自组装的嵌段共聚物，其具有通过下述通式(I)所示的结构：其中，A为一个富含有C元素或Si元素的耐刻蚀均聚物链段；B为一个富含有O元素的易刻蚀均聚物链段；且X‑H是含活泼H的功能性连接链段。本申请还涉及使用该嵌段共聚物的定向自组装方法以及由此得到的具有垂直分相结构的定向自组装结构。本申请还涉及上述嵌段共聚物在电子元件加工中的应用。本申请的嵌段共聚物包含极性活泼H的二嵌段，在嵌段共聚物分相的过程中，活泼H通过氢键作用与硅片表面Si‑OH锚合，克服嵌段共聚物两端差异的表面能，促使在无中性层的条件下垂直分相。