Microelectromechanical systems; Optical interconnections; Actuators; Circuit interconnections; Data links; Demonstrations; Electrooptics; Electrostatics; Energy consumption; Fabrication; High frequency; Integrated systems; Low frequency; Microelectronics; Optical communications; Optical radar; Optics; Scanners; Thermoelectricity; Theses; Vibration;
机译:电热驱动透镜扫描仪和闩锁制动器,用于自由空间板对板光学互连
机译:用于自由空间光学互连的两轴MEMS透镜对准系统
机译:MEMS XY-Stage上的光刻胶回流透镜的微光学扫描仪
机译:使用MEMS反射镜进行横向扫描和MEMS透镜扫描仪进行深度扫描的三维共聚焦扫描显微镜
机译:用于自由空间光学互连的MEMS镜头扫描仪
机译:用于光学相干层析成像的2轴电热MEMS微扫描仪的设计与制造
机译:用于自由空间板对板光学互连的电热驱动透镜扫描仪和闭锁制动器