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机译:Ge:SiO_x / SiO_2多层膜中的Ge-Si-O相分离和Ge纳米晶体生长-一种新的直流磁控管方法
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机译:氧气作为溅射气体的脉冲直流磁控管在室温下生长纳米锐钛矿相TiO_2薄膜的研究
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机译:通过直流磁控反应溅射沉积氢化非晶硅过程中生长通量的表征。
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