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机译:通过低能离子束溅射对硅表面进行纳米构图:取决于离子入射角
机译:通过低能离子束溅射对硅表面进行纳米构图:取决于离子入射角
机译:离子束溅射诱导的表面纳米图案的对称性:各向异性表面扩散的作用
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机译:离子束溅射在纳米图案中形态与表面传输之间的相互作用
机译:反应溅射中低能粒子轰击控制薄膜硅微结构。
机译:在硅的低能氩离子轰击下从波纹到刻面结构的转变:了解阴影和溅射的作用
机译:通过低能离子束溅射对硅表面进行纳米图案化:依赖于离子入射角