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机译:低等离子和高温PECVD生长的富含硅的SiOx膜,具有增强的载流子隧穿和发光
MICROCRYSTALLINE SILICON; IMPLANTED SIO2; ELECTROLUMINESCENCE; NANOCRYSTALS; DIOXIDE; DEFECT;
机译:低等离子和高温PECVD生长的富含硅的SiOx膜,具有增强的载流子隧穿和发光
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机译:基于金属-Siox-Si垫圈的福勒 - 诺德海姆隧道发光的增强
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机译:超薄隧道siOx薄膜作为硅异质结太阳能电池钝化层的pECVD工艺优化
机译:长径比和sp2 / sp3含量对Ns掺杂pECVD生长碳膜场发射性能的影响