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机译:填充有平面化碳纳米管束的硅通孔
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION; THROUGH-SILICON; INTERCONNECTS; GROWTH;
机译:填充有平面化碳纳米管束的硅通孔
机译:用于三维IC的亚微米级贯穿硅碳纳米管束通孔的电热建模和表征
机译:硅通孔填充了密实和转移的碳纳米管森林
机译:屏蔽差分碳纳米管束填充硅通孔的电路建模
机译:用于三维芯片堆叠应用的填充铜的硅通孔的制造和可靠性测试。
机译:通过优化溅射和电镀条件改善硅通孔的完全填充
机译:以硅通孔为碳纳米管的仿真模型