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Theoretical measurement uncertainty of white-light interferometry on rough surfaces

机译:粗糙表面上白光干涉测量的理论测量不确定度

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摘要

A great advantage of the white-light interferometry is that it can be used for profile measurement of objects with a rough surface. A speckle pattern that arises in the image plane allows one to observe the interference; however, this pattern is also the source of the measurement uncertainty. We derive the theoretical limits of the longitudinal uncertainty by virtue of the first-order statistics of the speckle pattern. It is shown that this uncertainty depends on the surface roughness of the measured object only; it does not depend on the setup parameters.
机译:白光干涉测量法的一大优势是它可以用于测量具有粗糙表面的物体的轮廓。在图像平面上出现的斑点图案使人们可以观察到干涉。但是,这种模式也是测量不确定度的来源。我们借助于斑点图案的一阶统计量得出了纵向不确定性的理论极限。结果表明,这种不确定性仅取决于被测物体的表面粗糙度。它不取决于设置参数。

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  • 来源
    《Applied optics》 |2003年第10期|共5页
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  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类 光学;
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