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机译:基于TI,B和Y的2到12 NM波长区域的软X射线极端紫外线多层镜的调查
Soft x-ray; Extreme ultraviolet; Xuv optics; Multilayer mirrors; Normal incidence reflectance; Thin films; Interfaces; Sputtering; Enthalpy; Gibbs free energy of formation; Titanium; Nickel; Cobalt; Copper; Tungsten; Boron; Boron-carbide; Palladium; Molybdenum; Yttrium; Silver; Niobium; Carbon; Ni/ti multilayers; Projection lithography; Magnetic-properties; Neutron-optics; Amorphization; Diffraction; Scattering; Interfaces; Reflectivity; Transmission;
机译:基于TI,B和Y的2到12 NM波长区域的软X射线极端紫外线多层镜的调查
机译:钼-锶多层反射镜,用于8-12 nm极端紫外线波长区域
机译:使用三层多层镜的高放大倍率物镜在波长下进行极端紫外线光刻掩模观察
机译:极端紫外线和软X射线区域中多层镜调查的实验室方法
机译:极紫外区域中用于多层反射镜的新材料。
机译:在远紫外和深紫外区域通过分子电子吸收增强的表面等离子体共振波长变化
机译:有源多层反射镜,用于在极紫外(EUV)波长下进行反射调谐
机译:用于多层镜应用的EUV /软X射线区域中的材料的光学常数