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机译:深紫外光刻中底部抗反射层的氧化钛膜
机译:深紫外光刻中底部抗反射层的氧化钛膜
机译:用于KrF光刻的底部抗反射涂层的低介电常数FLARE 2.0膜
机译:HMDSO膜作为深紫外光刻的底部抗反射涂层的附着力和压脚问题的研究
机译:低介电常数SILK薄膜作为KrF和ArF光刻的底部抗反射涂层
机译:表面科学中的两个主题:氧诱导镍铝Al(111)的形态变化;与极紫外光刻相关的钌和二氧化钛表面的二次电子产率研究。
机译:掺有氧化镓纳米颗粒/单壁碳纳米管层的透明导电氧化物膜用于深紫外发光二极管
机译:深紫外光刻中用于底部抗反射层的氧化钛膜