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机译:穆勒矩阵散射法研究粗糙表面和透明双折射样品
scatterometry; Mueller matrix; polarization; surface roughness; liquid-crystal device; generalized ellipsometry; LIGHT-SCATTERING; PHOTOPOLARIMETER; POLARIZATION;
机译:穆勒矩阵散射法研究粗糙表面和透明双折射样品
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