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机译:使用双光栅横向剪切干涉仪进行高精度波前分析
Lateral shearing interferometry; Optical measurement; Phase stepping; Common-path interferometers; Active component testing; Surfaces;
机译:使用双光栅横向剪切干涉仪进行高精度波前分析
机译:使用三波横向剪切干涉仪测量小波前畸变
机译:开环计量应用的迭代波前重建:Shack-Hartmann和使用傅里叶或Multigrid重建器的剪切干涉仪波前传感
机译:双光栅横向剪切干涉仪,用于EUV光学波长测量
机译:一种偏振横向剪切干涉仪及其在工程表面的机上误差测量中的应用。
机译:基于改进的横向剪切干涉仪的数字全息显微镜用于三维视觉检查透明物体上的纳米级缺陷
机译:使用紧凑型全息横向剪切干涉仪(错误)具有不同直径的激光束的准直测试