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机译:13.5 nm的高温锂金属蒸气毛细管放电极紫外光源
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机译:在10-16 nm波长范围内的强氙气毛细管放电极紫外光源
机译:13.5 nm PVC毛细管放电EUV光源的性能
机译:毛细管放电金属蒸气发生器和46.9 nm Ar毛细管放电软X射线激光器的应用研究
机译:强烈的毛细管放电等离子体极紫外光源,用于极紫外光刻和其他极紫外成像应用。
机译:极紫外光刻光源的激光产生的锡等离子体的电子密度和温度的时间分辨二维分布
机译:用于极端紫外线光刻的135nm强度等离子体放电源
机译:利用锂的670.8 nm共振跃迁产生离子源的锂离子。