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机译:大气压下含银薄膜的等离子体增强的空间原子层沉积的正杂环基银前体
Ruhr Univ Bochum Chair Inorgan Chem 2 Inorgan Mat Chem Univ Str 150 D-44801 Bochum Germany;
Univ Wuppertal Inst Elect Devices Rainer Gruenter Str 21 D-42119 Wuppertal Germany;
Ruhr Univ Bochum Chair Inorgan Chem 2 Inorgan Mat Chem Univ Str 150 D-44801 Bochum Germany;
Ruhr Univ Bochum RUBION D-44801 Bochum Germany;
Univ Wuppertal Inst Elect Devices Rainer Gruenter Str 21 D-42119 Wuppertal Germany;
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Ruhr Univ Bochum Chair Inorgan Chem 2 Inorgan Mat Chem Univ Str 150 D-44801 Bochum Germany;
N-heterocyclic carbenes; plasma-enhanced atomic layer deposition; silver; thin films;
机译:大气压下含银薄膜的等离子体增强的空间原子层沉积的正杂环基银前体
机译:使用新型N杂环碳前驱体的等离子体增强原子层沉积法沉积铜
机译:银薄膜的等离子体增强原子层沉积
机译:大气压增强空间原子层沉积种植的银薄膜的生长,渗透和润湿
机译:原子层沉积合成银薄膜
机译:通过等离子体增强的原子层沉积使用四甲基(二甲基氨基)钛(TDMAT)和四氯化钛(TiCl4)前体制备的锡薄膜的数据集
机译:使用新型N杂环卡宾前驱体通过等离子体增强原子层沉积法沉积铜