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机译:五纳米块共聚物薄膜的定向自组装和图案转移
Univ Texas Austin McKetta Dept Chem Engn Austin TX 78712 USA;
Seagate Technol Media Res Ctr 47488 Kato Rd Fremont CA 94538 USA;
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Univ Texas Austin Dept Mech Engn Austin TX 78712 USA;
Lam Res Corp 4400 Cushing Pkwy Fremont CA 94538 USA;
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Univ Texas Austin McKetta Dept Chem Engn Austin TX 78712 USA;
directed self-assembly; block copolymer; lithography; bit-patterned media; nanopatterning; nanoimprint lithography;
机译:五纳米块共聚物薄膜的定向自组装和图案转移
机译:具有特征密度倍增的成片嵌段共聚物定向自组装的化学模式
机译:从高分子量聚苯乙烯 - 嵌段 - 聚(二甲基硅氧烷)嵌段共聚物膜的形态学,定向自组装和图案转移
机译:优化的嵌段共聚物和中性刷层的等离子蚀刻窗口,可增强直接自组装图案转移到硬掩模层的能力
机译:嵌段共聚物和三元嵌段共聚物/均聚物共混物在化学图案化表面上的定向自组装成面向装置的几何形状。
机译:原子薄石墨烯化学图案上嵌段共聚物薄膜的定向自组装
机译:通过PS-b-P4VP嵌段共聚物的定向自组装和金属氧化物增强的图案转移来排列硅纳米鳍